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1.建廠期間(依法核准設立，尚未開工生產者)
(1)建造執照影本(建築物用途欄載明物品製造、加工有關之用途)。
(2)其他有關證明文件影本(公司證明文件、商業登記證明文件、申明書或切結書等)
(3)建廠前依法須取得工廠設立登記者，應加附工廠設立取可證明文件。
上揭建造執照內用途記載為廠房，稽徵機關無法從該建造執照得知起造人是否為興辦工業人，而逕予判斷該廠房是否將供物品製造、加工使用者，得請申請人另行提供上述其他有關文件。
(4)逾原設立許可核准建廠期間者，另檢附工業主管機關核准延長期限辦理之證明文件。
依工廠管理輔導法規定以2年為限。但因正常理由而不能如期完成者，得於期限屆滿前申請展延，每次展延期間不得超過1年，並以3次為限。
2.建廠完成後(已開工生產者)
(1)已達申辦工廠登記標準者:工廠登記核准函及工廠登記證明文件影本。
(2)未達申辦工廠登記標準者:使用執照或建築改良物證明文件影本(文件用途載明與物品製造、加工有關之建築物)。
(3) 如係繼受取得者，檢附建物所有權狀影本。
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